FINFET探针台技术改造

对于一些实验室或者研究机构来说，手动探针台是必不可少的设备，但是这类设备在市面上的厂家非常多，尤其是现在互联网非常发达，百度搜索至少可以找到上百个厂家。这么多厂家应该如何选择？哪个厂家比较好？下面小编就给大家介绍一下选购手动探针台该注意的地方。具体如下：1、定位一定要准确：购买手动探针台很重要的一点就是定位要准确，如果定位不准确，实验数据就会出现很大偏差，得出的实验结果自然也不符合事实依据。所以在采购这类设备的时候，需要了解设备的定位情况，只有保证准确度，才能保证实验结果，才能避免企业花费大量时间做无用功。2、操作要简单：虽然这种设备看起来很复杂，但是操作是不能复杂的，因为复杂的操作流程很容易导致实验数据出现误差，所以这一点大家一定要注意。只有操作简单，才能够让实验变得更加便利，误差也能够降到低点，这样才更符合企业的利益。3.操作要没有危险：现在人们对于避免危险意外越来越重视，所以企业在采购手动探针台的时候，一定要提前了解操作安全，如果这一点无法保证，可能会对企业口碑造成很大影响。因为现在工作环境存在危险隐患，一旦被有关部门发现，很有可能会被要求停业整改，这样会给企业造成非常大的损失。探针台chuck具备升降功能，便于样品和探针的快速分离。FINFET探针台技术改造

探针台是半导体(包含集成电路、分立器材、光电器材、传感器)行业重要的检测配备之一，其广泛应用于杂乱、高速器材的ing密电气测量，旨在保证质量及可靠性，并缩减研发时刻和器材制作工艺的本钱。探计台用于晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测验环节，负责晶圆的输送与定位，使晶圆上的晶粒依次与探针触模并逐人测验。在半导体器材与集成电路制作工艺中，从单晶硅棒的制取到ZU终器材制作的完结需经过杂乱的工序，可分为前道工序与后道工序，探针台是检测半导体芯片的电参数、光参数的关键设备。山东探针台加装极端环境下给样品加载电学信号的探针台设备。

手动探针台是广泛应用于半导体行业的综合经济型测试仪器，主要用于半导体芯片的电参数检测。手动探针台是通过两根探针以及吸片盘够成的回路以及相应大型电参数测试仪对芯片中的集成电路进行检测的。应用范围：手动探针台主要用于对生产及科研中的集成电路、三极管、二极管、可控硅及敏感元件管芯的电压、电流、电阻等参数进行手动测试。极低温测试:因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。高温无氧化测试：当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。

N系列探针台是一款适用于4-12英寸晶圆的精密探针台。该系列探针台采用高刚性显微镜龙门设计，结构稳定。显微镜平移台可进行X-Y-Z方向精密位移调节，显微镜放大倍率高，操作方便。同时支持多种功能的升级，非常适合晶圆级的测试应用。该产品主要应用于集成电路/芯片/MEMS器件/管芯晶圆/LED/LCD/太阳能电池等行业的测试及研究领域。在科研单位和半导体工厂都得到了运用。产品优势：显微镜具备高刚性龙门支架且搭配气动升降，保证高质量光学成像质量。卡盘同时具备快速和微调升降，便于样品和探针快速分离，也可以加载探针卡。可升级性强，比较高可升级220G高频，可集成光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统等。按照操作方式来划分成：手动探针台、半自动探针台、全自动探针台。

M系列探针台是我司一款基于高校教育与实验室而研发的基础型晶圆测试探针台。其结构紧凑，设计精密，价格实惠，在高等院校教学和小型实验室科研过程中得到运用。配合对应的仪器仪表，可以用于测试各类器件的IV/CV,PIV,光电信号等。也可以放置于手套箱内，配合特殊气氛使用。一般适用于学校和工厂小型实验室。产品优势：探针台与显示器一体化设计，大大减小了设备的占地空间具备自适应减震系统，一定程度上可防止外界震动的干扰U型平台镀镍设计，不仅增大了针座的加载空间，还提高了针座平台和针座之间的吸附力 探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。FINFET探针台技术改造

各钟规格国产射频探针。FINFET探针台技术改造

探针台操作步骤：1.将测试产品放入探针台的台盘上;2.打开显微镜光源灯（LED或光源机）;3.打开背光面板光源开关;4.调整Zaxis高度对焦，使能清楚看到样品图象为OK;5.调整目镜和Zoom倍率，使影像清晰;二.点针操作步骤：1.通过移动镜头组部分找到Sample要下针的地方;2.调整针座位置，将三轴归零;3.调整针座仰角机构，使针尖位于显微镜射出光斑**上方1-2mm处;4.利用低倍镜头找到针尖，将针尖移至视野**位置并通过调整焦距使针尖达到*清晰;6.切换至高倍镜头，找到针尖;7.利用针座的X-Y-Z轴微调下针;8.量测完毕后，逆时针旋转钮针座的仰角机构的旋钮取出快速将针往上抬起，针尖即可移开针Sample;移动座平台或者显微镜相关移动机构时，请注意小心避免与镜头或被测品碰撞9.移开针座，取出背光面板光源和光源灯等电源.FINFET探针台技术改造

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