PIV测试探针台升级

探针台的各种应用，例如器件表征和建模，RF /微波，晶片级可靠性，故障分析，设计验证，和大功率。满足先进半导体测试市场的要求，主要用于解决故障分析，设计验证，IC工程，晶圆级可靠性以及MEMS，高功率，RF和mmW器件测试的特殊要求。系统噪声，非常精确和高度可靠的DC / CV,RF和高功率测量。用于在宽温度范围内实现功率半导体的低接触电阻测量。带互锁功能的安全光幕可通过互锁系统关闭仪器，从而保护用户免受意外高压冲击。该系统具有后门，并由互锁保护，以提供简便的初始测量设置。探针台是半导体(包含集成电路、分立器材、光电器材、传感器)行业的检测标配。PIV测试探针台升级

    RF/mmW超高频测试探针台系统可配合市场主流扩频模块进行超高频测试l大行程高精度探针座，X-Y-Z-Theta四轴控制l显微镜可以在2英寸*2英寸*2英寸范围内移动，扩大了显微镜视场l兼容直流与高频信号l可以定制，可升级性强lFA(失效分析)**激光探针台系统失效分析实验室**（芯片去层/线路或Pad切割与熔接电性能测试验证）l激光镭射波长1064/532/355nm可选择性去除特定材料、而不损伤下层或基底l材料/器件（尤其是射频特征芯片）的IV/PIV/CV电性测试和失效分析。l**小切割线宽：355nm1um;，行程25mm，升降精度1uml卡盘，采用中心吸附孔和多圈吸附环固定样品l可调节显微镜快速倾仰，便于更换物镜，带自动锁定功能。l高功率白色照明光源（亮度可以无级调节）。 成都探针台推荐厂家按照操作方式来划分成：手动探针台、半自动探针台、全自动探针台。

探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台（chuck）上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针（射频或直流探针），精细扎到被测点，从而使其讯号线与外部测试机导通，通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。探针台工作环境，探针台应放在坚固稳定的台面上，如地基有震动的情况，需要配置主动防震装置，避免在高温、潮湿、激烈震动、阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。使用比较好温度范围为5℃～40℃，比较好湿度是40%到85%，空气中之湿度若低于30%以下，可靠湿度控制器予以控制，使维持50%～60%之范围。使用时门窗尽可能关闭，使室内达到除湿效果    。使用电源：220V，50Hz

高低温探针台优势1.满足各种温度的需求：可以满足非常高的温度或非常低的温度的需求，因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，我们针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。2、体积小，稳定性高：与传统探针台相比，高低温真空探针台的稳定性更高，采用先进的技术工艺，让探针台在工作过程中流畅性更高，平稳性更高，从而保证每次实验数据的稳定性，这样实验得出的结果就会更加准确。3、成本更低，可兼容直流跟射频测试的运用：与传统探针台相比，这种探针台采用先进的合成材料，成本方面比传统探针台更低，但是功能性都更加强大。探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台（chuck）上。

手动探针台是广泛应用于半导体行业的综合经济型测试仪器，主要用于半导体芯片的电参数检测。手动探针台是通过两根探针以及吸片盘够成的回路以及相应大型电参数测试仪对芯片中的集成电路进行检测的。应用范围：手动探针台主要用于对生产及科研中的集成电路、三极管、二极管、可控硅及敏感元件管芯的电压、电流、电阻等参数进行手动测试。极低温测试:因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。高温无氧化测试：当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。先进半导体探针测试系统。PCB探针台升级

三段式针座平台，在不失焦的情况下可以使样品和探针做到快速分离。PIV测试探针台升级

    探针台的工作原理1.探针台工作原理将待测物吸附在载物台上后推入探针台腔体内，利用探针座精密移动探针，通过显微镜的观察，将探针与待测物接触，然后将探针座上的电缆与仪表连接，通过自带的软件实现器件的参数测量和提取。结果方便保留对比查看。2.探针台功能通过连接仪器及待测物实现器件的参数提取，通过自带的驱动及测试软件能够实现器件的电学特性测试，为精密器件提供一个良好的系统平台，探针台可以搭配多种测试仪器使用，比如示波器，频谱仪，IV等等。3.探针台用途探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。芯片制造结束后即可在线测试，从源头即可监控。探针台用于对集成电路、三极管、二极管及光电探测器的IV/CV参数等性能测试与表征，是研究中不可缺少的基本设备。4.探针台系统性能指标可以实现通过软件对晶片载台X，Y，Z，探针台可搭载光纤，未来可升级满足光电测试载物台在XY方向：±1pm分辨率、小于2μm重复精度、大于50mm/sec的移动速度。 PIV测试探针台升级

上海波铭科学仪器有限公司致力于仪器仪表，是一家贸易型的公司。公司自成立以来，以质量为发展，让匠心弥散在每个细节，公司旗下拉曼光谱仪，电动位移台，激光器，光电探测器深受客户的喜爱。公司秉持诚信为本的经营理念，在仪器仪表深耕多年，以技术为先导，以自主产品为重点，发挥人才优势，打造仪器仪表良好品牌。波铭科仪凭借创新的产品、专业的服务、众多的成功案例积累起来的声誉和口碑，让企业发展再上新高。