重庆RF探针台

无论是芯片设计的可靠性验证测试，或是晶圆量产中的WAT测试和CP测试，探针台在其中起着至关重要的作用。探针台设备主要技术壁垒在系统的精细定位、微米级运动以及高准确率通信等关键参数。目前全球主要探针台市场仍主要被美、日、韩等国所占据。近年来在国家对半导体产业的大力扶持下，国产化技术的发展进程不断加快，中国半导体设备企业将加速迎来国产替代的机会。在国内半导体设备市场中，探针台是我国目前能实现高国产化率的设备。芯片的电参数测试用手动探针台。重庆RF探针台

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速露件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压，电流、电阳以及电容电压特性线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析，抽查测试等用途.激光探针台主要检测内容:1、激光打标;2、表层修复线路(利用激光将两层金属线熔融连接);3、驱除短路点;4、激光断线，5、干扰芯片测试;除了以几项之外激光探针台兼备常规探针台功能:1.微小连接点信号引出2.失效分析失效确认3.FIB电路修改后电学特性确认4.晶圆可靠性验证重庆毫米波探针台低温探针台集成系统。

    探针台怎么选合适的配置，怎么确定精度？通常需要确定以下问题来确定探针台的选型：1、比较大需要测几英寸的晶圆或者器件？2、探针台机械精度要求多高？3、点测样品的尺寸规格为多少？100um*100um或60um*60um的pad，还是FIB制作的minipad，还是ic内部的metal？4、Pad尺寸大于20um就都可以使用体式显微镜（体式显微镜比较大倍率200倍）5、需要几根探针同时去点测？6、会测试到的比较大的电流、电压值是多少（电压越高探针的针尖就要越粗、对夹具的要求也会越高。5A以下推荐使用同轴夹具、5A以上推荐使用三轴夹具）7、漏电精度需要达到多高？是否有射频的需求？三轴管状夹具：100FA，同轴弹簧夹具：10PA（漏电精度：要求能测到的电流的量级）。

低温探针台是用来无损检测样品的电性能，用于半导体、微电子、固体物理、超导等研究冷域，是研究材料的电阻率、磁电阻等各种物理特性的有力工具。稳定、可靠、方便的改变在很低的真空和温度下对器件和电路的探测。内置振动隔离，智能热管理，使用低排放的材料，先进的密封性，使该系统非常适合一系列需要更好的真空水平的应用，如石墨烯的研究，分子电子学等的，系统采用闭式循环制冷机和专有的热管理，可以经济快速的操作。内置的隔振小化振动符合行业标准。超稳定的微操纵满足设备探针的准确和可重复的接触。低温探针台集成系统有以下特点：1、在真空探针台下进行完整的霍尔效应测试的系统。2、支持一系列直流条件下霍尔效应测试。3、变温范围10k-400k，采用闭循环制冷机制冷，不需要消耗制冷剂。4、包含8400软件，可以做简单的系统操作、数据采集和分析。5、支持多载流子分析数据导出。手动探针台的工作原理。

光电流测试探针台系统是在金相显微镜基础上导入另一路光源，用于辐照样品以测试样品在特定波长及能量下的电气特性等测试目的。l本显微镜设计为双光路或3光路，其中一路为导入光通路，另一到两路为成像光路导入光为平行的激光或其它线性光源，波长范围200nm~20000nm，中间可加入多个波片过滤，起偏及偏振角度无级360度调节。光斑辐照直径有650nm红光指示。l所有模块均可拉出设计，对导入光性质无影响。导入光光路可选择一个光时间开关，精确控制导入光的辐照时间，精度1ms，范围2ms~∞，在控制界面上可对各种参数进行详细设置。成像光路为同轴照明金相成像，其中一路为1倍成像，可选择第2路成像，为物镜的0.25~10倍率，通常在高低温测试系统里会用到，同一个物镜不切换，得到两个不同视野的成像。三段式针座平台，在不失焦的情况下可以使样品和探针做到快速分离。低阻测试探针台技术改造

高低温真空探针测试系统。重庆RF探针台

很多人都不了解探针台，因为很少接触到。但是，它在的作用是非常大的，它的使用步骤我们还是需要了解的。下面，小编就带大家了解一下它的使用步骤。希望能对大家有所帮助。1、将样品载入真空卡盘，开启真空阀门控制开关，使样品平安且牢固地吸附在卡盘上。2、运用卡盘X轴、Y轴控制旋钮挪动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。3、显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品x-y，将影像调整明晰,带测点在显微镜视场中间。4、待测点地位确认好后,再调整探针座的地位,将探针台探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的地位旁边,再运用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,渐渐的将探针移至被测点,此时举措要小心且迟缓，以防举措过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针行进少许，再运用Z轴旋钮停止下针，刚开始则运用X轴旋钮左右滑动，察看能否有少许划痕，证明能否曾经接触。5、确保针尖和被测点接触良好后，则可以经过衔接的测试设备开端测试。重庆RF探针台

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