Mask激光失效分析

半导体激光器失效机理与案例分析：

半导体激光器失效模式主要表现为工作期间无输出光强，或在恒定驱动电流下输出光功率退化失效，当输出功率退化至特定阈值，就会导致激光器失效。可靠性研究分析中心是国内专业从事电子元器件和各种电子产品失效分析技术研究和技术服务的机构。在对半导体激光器开展的失效分析工作中，经总结，半导体激光器的主要失效机理包括电极退化、欧姆接触、腔面退化、环境污染等因素。

失效机理介绍及相关案例如下文所示。

1）电极退化电极退化通常发生在金属与半导体材料的交界面，由于焊料材料扩散进半导体内部形成缺陷结构，大电流作用下导致缺陷位置热量积累，**终烧毁附近的金属化层[2]。 在40nm左右的时候，转移图案的过程中，需要使用到40层左右的掩膜版。Mask激光失效分析

常见、有代表性的激光应用之激光光源：如，用半导体激光合成白光光源。

常见、有代表性的激光应用之激光通信：激光大气通信的发送设备主要由激光器（光源）、光调制器、光学发射天线（透镜）等组成；接收设备主要由光学接收天线、光检测器等组成。

常见、有代表性的激光应用之激光笔：是把可见激光设计成便携、易握的笔型发射器。常见有红光(650-660nm, 635nm)、绿光(515-520nm, 532nm)、蓝光(445-450nm)和蓝紫光(405nm)等，功率常以毫瓦为单位。会报、教学、导赏人员会使用它投映出光点或光线指向物体，不可对人，尤其需注意人眼防护。 QuikLaze激光头激光应用之激光传感器；

近年来，半导体激光器在医疗、传感、光学通讯、航空航天等领域的应用市场不断扩大，半导体激光器的种类和制造工艺也更加丰富多样。

许多新的应用领域要求半导体激光器具有更高的输出功率。增加输出功率主要有两种方式：1）提高芯片生长技术从而增加单发射腔半导体激光器输出功率。2）提阵列高半导体激光器发光单元的个数从而提高输出功率。为进一步提高光输出功率，提出了多种封装技术，其中包括多单管模组、水平叠阵、垂直叠阵、面阵。

激光光掩膜主要分两个组成部分，即基板和不透光材料，不同掩模版的不透光材料有所不同。基板通常是高纯度，低反射率，低热膨胀系数的石英玻璃。不同种类光掩膜使用的不透光材料不同。光掩膜分为铬版（苏打玻璃、石英玻璃、硼硅玻璃）、干版、菲林、凸版（APR）。铬版的不透光层是通过溅射方法镀在玻璃下方厚约 0.1um 的铬层。铬的硬度比玻璃略小，不易受损但有可能被玻璃所伤害。应用于芯片制造的光掩膜为高敏感度的铬版。干版涂附的乳胶，硬度小且易吸附灰尘，不过干版还有包膜和超微颗粒干版，后者可应用于芯片制造。半导体激光器失效机理；

那么现在来了解下激光开封机使用环境：1.湿度要求为40%~80%无结露2.环境湿度要求在15C~30C之间,要求安装空调3.设备工作空间要保证无烟无尘避免金属抛光研磨等粉尘严重的工作环境4.安装设备附近应无强烈电磁信号干扰,安装地周围避免有无线电发射站(或中继站)5.地基振幅:小于5um;震动加速度:小于0.05g;避免有大型冲压等机床设备在附近6.供电压220V电网波动:+/-5%,电网地线符合国际要求,电压幅5%以上的地区,应加装自动稳压,稳流装置7.另外请避免在以下场所使用:-易结露的场所-能触及药品的场所-垃圾,灰尘,油雾多的场所-在CO2,NOx,Sox等浓度高的环境中光掩膜的品质将直接影响到芯片的良率和稳定性。Ezlaze激光调阻

大功率半导体激光器；Mask激光失效分析

激光机常见故障以及解决方法：三、复位不正常1、检查传感器是否沾灰、接触不良或受损（擦净传感器上的灰尘或更换）；2、检查柔性导带数据线是否接触不良或损坏（修剪数据线重新拔插或更换数据线）；3、检查地线接触是否可靠或高压线是否受损（重新接地或更换高压线）；4、电机线接触不良。四、漏刻1、初始化不正确，已发送数据（更正）；2、操作顺序颠倒（重新输出）；3、静电干扰（检查地线是否脱落）；五、清扫勾边错位、不闭合1、编辑好的文件是否正确（重新编辑）；2、所选目标是否超出版面（重新选取）；3、检查软件参数设置是否正确（重新设置）；4、电脑系统有误（重新安装操系统及软件）；5、检查左右皮带松紧是否一致或后端皮带是否太松（皮带加紧）；6、检查皮带或同步轮是否打滑、跳齿（加紧同步轮或皮带）；7、检查横梁是否平行（重新调节左右皮带）；Mask激光失效分析

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